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河南黃河旋風股份有限公司碳化硅切割專用金剛線研制成功并投放市場

關鍵詞 碳化硅 , 金剛線|2022-09-28 09:54:28|來源 黃河旋風
摘要 近日,河南黃河旋風股份有限公司碳化硅切割專用金剛線鋸研發取得突破,經多家客戶使用,其產品性能已完全達到甚至超過日本同類產品水平,不論在切割效率、切割質量還是切割穩定性,均全面優于現...

       近日,河南黃河旋風股份有限公司碳化硅切割專用金剛線鋸研發取得突破,經多家客戶使用,其產品性能已完全達到甚至超過日本同類產品水平,不論在切割效率、切割質量還是切割穩定性,均全面優于現有砂漿切割水平。

       近年來,以氮化鎵、碳化硅為代表的第三代半導體產業發展迅猛,國家高度重視,企業積極布局,整個行業呈現爆發式的增長勢頭。碳化硅材料作為第三代半導體之一,具有優異的性能,同時也具有難加工的特點,其超高的硬脆性特點導致加工難度大、風險高、效率低、良品率不高,尤以切割為難點。目前市場上主要以金剛石砂漿切割為主,切割速度慢,效率低,砂漿利用率低,成本居高不下,砂漿用微粉供應已達極限,固結金剛線替代砂漿切割已成必然趨勢。

       目前市場上能夠穩定供應的碳化硅切割線僅有日本某企業,在美日等國對我國芯片行業打壓的大背景下,碳化硅切割金剛線的國產化就特別迫切。然而碳化硅晶圓價值高,要求切割低風險、高質量,對金剛線的質量要求就極為嚴苛。

       黃河旋風作為超硬材料龍頭企業,充分發揮全產業鏈覆蓋的優勢,多部門協同研發,利用其從日本住友引進吸收的金剛線設備和技術,深入開展金剛石線鋸對碳化硅的切割機理研究,重點對切割中金剛石的失效機理進行深入挖掘,適配了專用金剛石及微粉,確保了該產品優異的切割能力以及材料、產品質量的穩定性。

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       黃河旋風碳化硅切割專用金剛線線徑均勻、線絲圓度好、磨料分布均勻、出刃高。

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       在6英寸絕緣型及導電型碳化硅晶體的切割過程中,線弓小、無斷線,切割后晶面平整無線紋,切割用線量介于500-800m/片。

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       經多家客戶的切割使用驗證,切割后線徑磨損均勻,均取得穩定的切割數據,且可獲得同等于砂漿切割的晶片質量,可大幅提升切割效率降低生產成本。

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